产品中心
PERTOP高效电池管式PECVD装备
焦点手艺
非晶硅在高温晶化时脱膜抑制手艺
低粉尘工艺手艺
沉积薄膜历程电场阻抗系统稳态控制手艺
大面积匀称性控制手艺
等离子体脉冲氧化法制备超薄氧化硅手艺
“氧化硅+原位掺杂非晶硅”二合一工艺手艺
相关形貌
sungame股份与中科院宁波质料所睁开战略相助，，，， ，探索出用管式PECVD装备实现PERTOP光伏电池焦点质料“超薄氧化硅+原位掺杂非晶硅”的制备，，，， ，同时在抑制非晶硅爆膜、避免电场导通、实现高效电池全工艺集成等要害手艺方面取得了重大突破，，，， ，推出了简化工艺流程解决计划。。。
等离子体增强型化学气象沉积（PECVD）手艺
依赖等离子电场硅烷解离，，，， ，沉膜速率快，，，， ，掺杂效率高
定向沉积，，，， ，绕镀稍微，，，， ，制品率高
低温工艺，，，， ，侵蚀性附产品少，，，， ，耗材本钱低
